Dispositivo de pulverização catódica
O dispositivo de pulverização catódica NorthGlass é produzido com um cátodo rotativo / planar, blocos de extremidade e uma barra magnética. Nós também fornecemos projetos personalizados e atualizações para revestimentos existentes que podem ser equipados com os componentes mencionados anteriormente.
Nós fabricamos cátodos rotativos únicos, cátodos rotativos duplos, cátodos planares simples e cátodos planares duplos. Cada componente de cátodo é composto de uma base de cátodo, tampa, unidade de distribuição de gás de processo, água e conexão de eletricidade, dispositivo de medição de vácuo, um sistema de controle altamente intuitivo, etc.
Nós fornecemos três séries de blocos de extremidade que incluem o EB-CAC, EB-CB e EB-CS para atender todas as demandas variando de nossos clientes. Todos os blocos de extremidade podem ser mantidos pelo seu pessoal operacional com um programa de treinamento rápido e alguma prática.
Cada par de blocos de extremidade é constituído por uma extremidade matriz e uma extremidade de ligação água/eletricidade. A extremidade de condução é projetada para a rotação de alvo e o outro lado é conectar água e linhas elétricas para a unidade. Esta série é apropriada para nealy todos os cátodos em revestimentos simétricos.
| Séries | Tipo | Frequência atual | RPM | Diâmetro do tubo alvo | Comprimento do tubo alvo | Tensão segura |
| EB-CAC | Dupla extremidade | ≤320A, ≤40kHZ | ≤30r/min | ≤155mm | ≤3900mm | < 1500V |
Esta série dos blocos de extremidade é constituída por uma extremidade funcional e uma extremidade de suporte em cada par. A extremidade final é para rotação de alvo e conexão com água e linhas elétricas. O outro lado é a extremidade de suporte. Estes são adequados para revestimentos assimétricos.
| Séries | Tipo | Frequência atual | RPM | Diâmetro do tubo alvo | Comprimento do tubo alvo | Tensão segura |
| EB-CB | Fim único | ≤320A, ≤40kHZ | ≤30r/min | ≤155mm | ≤3900mm | < 1500V |
Esta série é composta por uma extremidade funcional e uma extremidade de suporte. A extremidade funcional é para rotação de alvo e conexão de água/eletricidade. A outra extremidade é um suporte final. Estes são adequados para revestimentos assimétricos.
A distância alvo-substrato pode ser facilmente ajustado devido ao método de instalação para baixo.
| Séries | Tipo | Frequência atual | RPM | Diâmetro do tubo alvo | Comprimento do tubo alvo | Tensão segura |
| EB-CS | Fim único | ≤225A, ≤40kHZ | ≤30r/min | ≤155mm | ≤2500mm | < 1500V |
Características técnicas
- O tubo de suporte de alumínio extrudido separa o íman e seu jugo da água de arrefecimento para proteger o campo magnético.
- A uniformidade do campo magnético é controlado com precisão usando uma estrutura de rosca.
- A água de resfriamento é ejetada do tubo alvo de alta temperatura, reduzindo imediatamente a temperatura.
- Fácil instalar e manter.
| Tipo | |||
| Comprimento da barra magnética (mm) | 3850 | 3192 | 1920 |
| Força magnética | >550GS | ||
| Homogeneidade | ≤±1.0% | ||
| Gama ajustável | ≤±25% | ||
